Bắc Chu Vũ Đế Vũ Văn Ung là một ông vua có tài, rất trọng Nho thuật, có kinh nghiệm cai trị. Vào lúc này, về chính trị, kinh tế, quân sự, ông đã đồng thời tiến hành một loạt những cải cách. Theo “Quảng Hoằng minh tập” quyển 7 “Tự liệt đại vương thần trệ cảm giải” ghi: “Năm Thiên Hoà thứ 2 (567) Thục quận công Vệ Nguyên Cao dâng thư, nói: “Trị nước không do Phật, Thời Đường Ngu không có Phật mà nước yên; Tề, Lương có chùa chiền mà nước loạn”. Ý kiến của ông đã được Chu Vũ Đế đồng tình.

Đạo sĩ Trương Khách cũng dâng thư xin diệt trừ Phật giáo. Vì thế, Chu Vũ Đế triệu tập quần thần và các tăng ni, đạo sĩ, thảo luận về những điểm xấu tốt của ba tôn giáo, muốn hạ thấp địa vị của Phật giáo, coi Nho giáo là thứ nhất, Đạo giáo là thứ hai, Phật giáo là cuối cùng. Vì thế, Đại Trủng tể Vũ Văn Hộ, người tin tưởng Phật giáo một cách thành kính không đồng tình, lại dâng thư, nói xấu Đạo giáo, vì thế, tuy đã được thảo luận rất nhiều nhưng vị trí của ba tôn giáo vẫn chưa được xác định. Năm Kiến Đức nguyên niên (572) Chu Vũ Đế giết Vũ Văn Hộ, trực tiếp nắm đại quyền. Tháng 12 năm sau, lại triệu tập quần thần, đạo sĩ, tăng ni tiến hành tranh luận, định vị trí Nho giáo là thứ nhất, sau đến Đạo giáo, rồi Phật giáo. Vì thế, các danh tăng, tăng mãnh, tĩnh ải đạo tích ra sức phản kháng, đề nghị huỷ bỏ, tố cáo Đạo giáo khiến cho việc xác lập địa vị chưa thể thực hiện được. Tháng 5 năm Kiến Đức thứ 3 (574), Chu Vũ Đế lại một lần nữa triệu tập đại thần danh tăng, đạo sĩ tiến hành tranh luận. Lần này, hai tôn giáo Phật và Đạo tranh đấu vô cùng quyết liệt. Theo “Độc cao tăng truyền. Trí Huyễn truyền” ghi lại, Trí Huyễn trong cuộc tranh cãi đã đập thẳng đạo sĩ Trương Khách, Chu Vũ Đế ủng hộ Đạo giáo, coi Phật giáo là không tịnh, Trí Huyễn đã đáp lại: “Đạo giáo mới thật là không tịnh!”

Lần này, Vũ Đế chỉ muốn bãi bỏ Phật giáo do đã mê tín những phương thuật và đạo nghĩa hão huyền của Đạo giáo, thấy bọn Chân Loan, Trí Huyễn phản đối kịch liệt nên hạ chiếu “bỏ hai tôn giáo Đạo, Phật, huỷ bỏ kinh tượng, bãi sa môn (tức tăng ni), đạo sĩ, lệnh cho về thành dân thường”. Sau khi chiếu lệnh được ban bố lập tức được thực hiện. Bỏ Phật đốt kinh, đuổi sư, phá chùa, … tất cả chùa chiền đều thành nhà ở, sư tăng đều phải mặc áo trắng.”

Năm Kiến Đức thứ 6 (577), sau khi diệt Bắc Tề, Chu Vũ Đế nhiều lần mời các danh tăng đến cung điện mới ở Nghiệp Thành để giải thích nguyên nhân và ý nghĩa việc coi trọng Nho giáo và Phật giáo, đến dự có đến 500 tăng ni, tất cả đều im lặng không nói lời nào, chỉ có Tuệ Viễn thể hiện thái độ phản đối, mang địa ngục ra để đe doạ. Các tín đồ Phật giáo cũng dâng thư phản đối việc diệt Phật, lấy nhân quả báo ứng để nhắc nhở. Chu Vũ Đế biểu thị thái độ không tin Phật. Cuối cùng, ông quyết định diệt Phật ở những vùng thuộc nước Tề, chùa chiền đều bị huỷ bỏ, vì thế, Phật giáo ở phía bắc Trung Quốc hoàn toàn bị cấm...

Lần diệt Phật này của Chu Vũ Đế tương đối dễ. Theo “Phòng lục” quyển 11 ghi: lúc đó, các chùa đã xây dựng hàng trăm năm ở khắp nơi đều bị phá huỷ, kinh điển đều bị đốt. Chùa miếu ở 8 châu có đến hơn 40 nghìn, tất cả đều thành nhà ở của các vương công tăng ni có đến hơn 300 vạn đều thành quân dân về sống với gia đình. Sau khi Bắc Chu Võ Đế Vũ Văn Ung chấp chính, đã hạ chiếu lệnh: “Diệt hai giáo Phật, Đạo, kinh và tượng đều tiêu hủy, bãi bỏ sa môn (tăng ni), đạo sỹ, đồng thời lệnh hoàn tục”. Cứ nơi nào chiếu lệnh đến, tượng Phật bị nung chảy, kinh thư bị đốt cháy, Phật tháp bị phá hoại, chùa chiền biến thành nhà ở tục gia, tăng ni đều bị hoàn tục làm dân.

Tháng 6 năm sau chinh phạt Đột Quyết, khi đại quân tề tựu đầy đủ, Võ Đế mắc căn bệnh lạ, toàn thân nát rữa mà chết, khi đó tuổi mới 36.

Năm 581 Dương Kiên phế Bắc Chu xây dựng nhà Tùy. Sau khi nhà Tùy hoàn thành đại nghiệp thống nhất thiên hạ, kế thừa các biện pháp hưng Phật, lễ Phật, kính Phật thời Nam Bắc triều, lại dốc sức hoằng dương Phật pháp, khiến cho Phật giáo đang ở thời suy vi sau khi Chu Võ Đế diệt Phật nay lại trở nên hưng thịnh, đồng thời tạo tiền đề cho Phật giáo bước vào thời đại hoàng kim thịnh truyền vào đời Đường.

Năm Khai Hoàng thứ 11 triều Tùy, Đại phủ tự thừa Triệu Văn Xương đột nhiên bạo bệnh chết, duy còn trái tim vẫn ấm. Người nhà không dám liệm, sau đó ông lại sống lại, nói:

“Ta khi mới chết, có người dẫn ta đến chỗ Diêm La Vương. Diêm Vương hỏi ta: ‘Ngươi từ khi sinh đến giờ, đã làm những việc phúc gì?’. Ta trả lời rằng: ‘Con gia cảnh bần cùng, không có năng lực tạo dựng công đức. Chỉ có mỗi ngày chăm chỉ niệm kinh Phật’. Diêm Vương nghe mấy lời này, chắp tay cúi đầu, khen ngợi rằng: ‘Rất tốt’. Diêm Vương liền sai người dẫn ta về nhà, lệnh cho ta đi ra ở cổng Nam.

Đến cổng ta thấy Võ Đế ở trong phòng phía bên cổng, bị khóa 3 lớp khóa. Ông ấy nói với ta rằng: ‘Ông là người nước ta, tạm thời đến đây, ta muốn nói chuyện với ông’. Ta lập tức bái kiến. Võ Đế nói: ‘Ông có nhận ra ta không?’. Ta nói rằng: ‘Thần trước đây là thị vệ của bệ hạ’. Võ Đế bèn nói: ‘Ông là bề tôi xưa của ta, bây giờ về nhà, hãy thay ta nói với Tùy Hoàng Đế rằng, bao nhiêu tội lỗi của ta đều có thể biện giải minh bạch được, duy chỉ có tội diệt Phật pháp là quá nặng, không được xá tội, mong Tùy Đế gây dựng chút công đức cho ta. Hy vọng thông qua các việc thiện này chuộc lỗi, khiến ta được ra khỏi địa ngục’.

Ta tiếp nhận lời ủy thác rồi đi. Đến khi ra khỏi cổng Nam, nhìn thấy trong hố phân lớn có tóc của một người nổi lên trên, bèn hỏi người dẫn đường. Người dẫn đường nói: ‘Đây là đại tướng Bạch Khởi của nước Tần, bị cầm tù ở nơi này, tội ác vẫn chưa hết’”.

Văn Xương về đến nhà thì sống lại, bèn đem những việc này tấu lên hoàng thượng Dương Kiên. Dương Kiên bè lệnh cho người trong thiên hạ xuất tiền theo nhân đinh để làm pháp sự siêu độ cho Chu Võ Đế. Cử hành đại tế lễ 3 ngày, đồng thời ghi chép lại những việc này, viết trong “Tùy thư”.